氣相沉積(ji)按形(xing)(xing)成的(de)(de)基(ji)本原理(li)(li)(li)，分(fen)為(wei)(wei)化(hua)學氣相沉積(ji)（CVD）和(he)物理(li)(li)(li)氣相沉積(ji)（PVD）。氣相沉積(ji)是在工件(jian)表(biao)面覆蓋(gai)一層(ceng)(ceng)(ceng)厚度為(wei)(wei)0.5～10μm的(de)(de)過渡族元(yuan)素(su)（Ti、V、Cr、W、Nb等(deng)）與C、N、O、B等(deng)形(xing)(xing)成的(de)(de)化(hua)合(he)物，或單一的(de)(de)金屬(shu)及非金屬(shu)涂(tu)層(ceng)(ceng)(ceng)，使零件(jian)表(biao)層(ceng)(ceng)(ceng)改變(bian)化(hua)學成分(fen)，并在其表(biao)面形(xing)(xing)成功能性(xing)（例(li)如超硬耐磨(mo)層(ceng)(ceng)(ceng)）或裝飾(shi)性(xing)的(de)(de)化(hua)合(he)物涂(tu)層(ceng)(ceng)(ceng)的(de)(de)新技術，現(xian)已廣泛應(ying)用于各類零件(jian)的(de)(de)硬化(hua)處理(li)(li)(li)。沉積(ji)層(ceng)(ceng)(ceng)的(de)(de)主要(yao)類別(bie)及特性(xing)見表(biao)3-38。
主要應(ying)用的沉積(ji)層TiC、TiN涂層有以下特點：
a. 涂層有很(hen)高的硬度（TiC：2980～3800HV，TiN：2400HV）、低的摩擦因數和自潤(run)滑性(xing)能，所(suo)以(yi)抗磨(mo)粒(li)磨(mo)損性(xing)能良(liang)好。
b. 涂層(ceng)(ceng)具有(you)很(hen)高的熔(rong)點（TiC：3800℃，TiN：2950℃），化(hua)學穩定(ding)性好，基體金屬在涂層(ceng)(ceng)中(zhong)的溶解(jie)度小(xiao)，摩擦因(yin)數較低(di)，因(yin)而具有(you)很(hen)高的抗粘著(zhu)磨損能力，使(shi)用中(zhong)發生冷焊和咬合的傾(qing)向(xiang)也很(hen)小(xiao)，而且TiN比TiC更好。
c. 涂(tu)層有較(jiao)強的(de)耐(nai)蝕性(xing)，TiC涂(tu)層在硫酸、鹽酸、氯(lv)化(hua)鈉水溶液中的(de)耐(nai)蝕性(xing)良(liang)好，而且TiN的(de)耐(nai)蝕性(xing)一般都比TiC更好一些。
d. 涂層在高溫下也具有良好的抗大氣氧化能力（TiC大約可達400℃，TiN大約可達500℃），高于以上溫度，在空氣中的TiC、TiN將被氧化成TiO2而失去其原來的性能。
